SECS/GEM是由国际半导体设备与材料协会(SEMI)的会员一起构建的连接性标准。该标准应用于在设备和工厂管理间的通讯标准。 SECS/GEM协议网站 www.secsgem.cn 2 用途 SECS / GEM。198个成员聚集在这个小组 加入小组
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